纯水在25摄氏度时的电导率：普通纯水：EC=1~10us/cm；高纯水：EC=0.1~1.0us/cm；超纯水：EC=0.1~0.055；饮用纯水：EC=1~10us/cm（国家标准）。纯水是一种无机化合物，化学式为H2O，具有一定结构的液体，虽然它没有刚性，但它比气态水分子的排列有规则得多。
纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。
纯水也是指经过纯水机（RO机）过滤的水。目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有：1、微电子工艺对水质的要求；2、制水工艺的水平；3、检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前中国多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。